サファイア基板 - 製品情報

サファイア基板

青色・白色LEDに代表される、Ⅲ族窒化物半導体用に信光社のサファイア基板をご利用ください。

信光社サファイア基板の特徴

すぐれた加工精度 すぐれたそり・平行度の加工精度を実現！

干渉計での測定画像

すぐれた表面 サブナノオーダーで加工した表面！

原子間力顕微鏡（AFM）画像

すぐれた洗浄度 高い洗浄能力により、成膜プロセスに適した基板をご提供します！

サファイア基板表面のパーティクル分布

すぐれた結晶 結晶性のよい製品を厳選してお届け！

サファイアのX線ロッキングカーブ

規格	φ2インチ	φ3インチ	φ4インチ
直径	50.8mm	76.2mm	100.0mm
厚さ	※	※	※
平坦度	＜13μm	＜15μm	＜20μm
平行度	＜10μm	＜15μm	＜20μm
オリフラ長さ	16±1mm	22±2mm	32±2mm

（※）…ご相談ください。