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サファイアキャリアウエハ     　半導体プロセスにおけるウエハ搬送用として、高強度で耐熱・耐薬品性に優れたサファイアキャリアウエハが最適です。当社ではお客様のご要望に応じた各種製品に対応しております。ぜひご利用ください。       ●標準仕様     サイズ φ125mm (±0.25mm) φ152mm (±0.25mm) 厚さ 1 mm±0.005 mm 1 mm±0.005 mm 研磨面 両面 面指定 R面（±2°） 反り ≦20μm 平坦度 ≦5μm ≦7μm 平行度 ≦5μm     ●付加オプション   　スルーホール加工、レーザーマーキング、面取り加工、オリフラ加工     　上記以外の仕様につきましても，ご相談ください。

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