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| 製品情報 > 薄膜基板 > 酸化物単結晶STEP基板 |
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酸化物単結晶STEP基板 |
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当社では、原子レベルで平坦なテラス面とSTEPからなる、きわめて精密な表面をもった酸化物単結晶STEP基板を販売しています。 |
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・独自のSTEP処理による高品質なエピタキシャル成長に最適な基板です。
・長年の結晶育成によって培われた欠陥の少ない高品質の基板です。
・加工変質層がなく，平坦度に優れた高い加工精度の基板です。
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●標準品 |
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| SrTiO3 |
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(100) |
10mm×10mm×0.5mmt，
15mm×15mm×0.5mmt |
| Nb: 0.05wt% |
(100) |
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●受注生産品 |
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| サファイア |
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(0001) |
10mm×10mm×0.5mmt，
15mm×15mm×0.5mmt |
| (01-12) |
| (01-12) |
| ルチル |
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(100) |
10mm×10mm×0.5mmt，
15mm×15mm×0.5mmt |
| (110) |
| Nb: 0.05wt% |
(100) |
| (110) |
| Nb: 0.5wt% |
(100) |
| (110) |
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上記以外の仕様につきましても，ご相談ください。 |
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