サファイア基板
サファイア基板

本製品は2024年12月をもちまして製造・販売を中止とさせていただきました。

長らくのご愛顧 誠にありがとうございました。

(在庫限りで終了とさせていただきます)

 

青色・白色LEDに代表される、Ⅲ族窒化物半導体用に信光社のサファイア基板をご利用ください。

信光社サファイア基板の特徴

すぐれた加工精度 すぐれたそり・平行度の加工精度を実現!
干渉計での測定画像
すぐれた表面 サブナノオーダーで加工した表面!

原子間力顕微鏡(AFM)画像
すぐれた洗浄度 高い洗浄能力により、成膜プロセスに適した基板をご提供します!
サファイア基板表面のパーティクル分布
すぐれた結晶 結晶性のよい製品を厳選してお届け!

サファイアのX線ロッキングカーブ

 

標準スペック

片面研磨

規格 φ2インチ φ3インチ φ4インチ
直径 50.8mm 76.2mm 100.0mm
厚さ
平坦度 <13μm <15μm <20μm
平行度 <10μm <15μm <20μm
オリフラ長さ 16±1mm 22±2mm 32±2mm

(※)…ご相談ください。