サファイア基板
サファイア基板

 

青色・白色LEDに代表される、Ⅲ族窒化物半導体用に信光社のサファイア基板をご利用ください。

信光社サファイア基板の特徴

すぐれた加工精度
すぐれたそり・平行度の加工精度を実現!
干渉計での測定画像
すぐれた表面
サブナノオーダーで加工した表面!

原子間力顕微鏡(AFM)画像
すぐれた洗浄度
高い洗浄能力により、成膜プロセスに適した基板をご提供します!

サファイア基板表面のパーティクル分布
すぐれた結晶
結晶性のよい製品を厳選してお届け!

サファイアのX線ロッキングカーブ

標準スペック

片面研磨

φ2インチ φ3インチ φ4インチ
直径 50.8mm 76.2mm 100.0mm
厚さ
平坦度 <13μm <15μm <20μm
平行度 <10μm <15μm <20μ
オリフラ長さ 16±1mm 22±2mm 32±2mm

(※)…ご相談ください。