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サファイア基板
サファイア基板
青色・白色LEDに代表される、Ⅲ族窒化物半導体用に信光社のサファイア基板をご利用ください。
信光社サファイア基板の特徴
すぐれた加工精度
すぐれたそり・平行度の加工精度を実現!
干渉計での測定画像
すぐれた表面
サブナノオーダーで加工した表面!
原子間力顕微鏡(AFM)画像
すぐれた洗浄度
高い洗浄能力により、成膜プロセスに適した基板をご提供します!
サファイア基板表面のパーティクル分布
すぐれた結晶
結晶性のよい製品を厳選してお届け!
サファイアのX線ロッキングカーブ
サファイアの透過率
(c面 5mmt)
標準スペック
片面研磨
規格
φ2インチ
φ3インチ
φ4インチ
直径
50.8mm
76.2mm
100.0mm
厚さ
※
※
※
平坦度
<13μm
<15μm
<20μm
平行度
<10μm
<15μm
<20μm
オリフラ長さ
16±1mm
22±2mm
32±2mm
(※)…ご相談ください。
*サファイアの物性詳細はこちら
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