STEP基板

STEP基板とは精密研磨後にエッチングやアニールをすることにより、
原子レベルで平坦なテラス面とSTEPからなる究極の表面を持った基板のことをいいます。
高精度なエピタキシャル成長にはSTEP基板は欠かせません。
弊社では SrTiO₃, Al₂O₃, TiO₂, LaAlO₃の単結晶STEP基板を提供しています。

特徴

独自のSTEP処理による高品質なエピタキシャル成長に最適な基板です。
長年の結晶育成によって培われた欠陥の少ない高品質の結晶です。
加工変質層をできる限り取り除いた平坦性に優れた高い加工精度の基板です。
通常の基板より高い面方位精度（±0.3°）で規定された高精度仕様になります。
精密洗浄後、専用ケースに真空パックして出荷いたします。
基板1枚ごとにAFMデータを添付いたします。

STEP基板のAFMイメージ

STEP基板専用パッケージ

STEP高さ、テラス幅、OFF角の関係

標準仕様（STEP基板対応）

	結晶系	面方位	基板サイズ (mm)	ドープ
Al₂O₃	三方晶	(0001)	10×10×0.5 t 15×15×0.5 t	―
SrTiO₃	立方晶	(100)	10×10×0.5 t 15×15×0.5 t	Nb:0～0.05 wt% (≒0.1 at%)
TiO₂	正方晶	(110) (100)	10×10×0.5 t 15×15×0.5 t	Nb:0～0.5 wt% (≒0.43 at%)
LaAlO₃	擬立方晶	(100)	10×10×0.5 t 15×15×0.5 t	―

各種STEP基板のSTEP高さ

種類	面方位	STEP高さ(nm) （理論値）
SrTiO₃	(100)	0.39
Al₂O₃	(0001)	0.21
TiO₂	(110)	0.32
TiO₂	(100)	0.23
LaAlO₃	(100)	0.38

SrTiO3（100）のOFF角度とテラス幅の関係

OFF角度(°)	テラス幅(nm) （理論値）
0.10	223
0.15	149
0.20	112
0.25	89
0.30	74

※お客様のご要望により特殊仕様も承りますのでお問い合わせください。

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