お客様で基板の分割を簡単にできるように、
あらかじめ基板を割りやすいように基板裏面にブレイク溝をつけた基板です。
けがきを入れて基板を分割した場合、なかなかうまくまっすぐに切れません。また、ダイヤモンドソーで切断した場合、切断代の無駄や汚れが発生しています。
弊社のブレイク溝付き基板を用いれば、”無駄なく” ”きれい” に分割することができますのでぜひご利用ください。
ブレイク溝付基板の分割の様子
| 結晶 | 基板サイズ | 分割タイプ |
|---|---|---|
| SrTiO3 | 10×10×0.5 mmt 15×15×0.5 mmt |
10×10を4分割 15×15を9分割 |
| TiO2 | 10×10×0.5 mmt 15×15×0.5 mmt |
10×10を4分割 15×15を9分割 |
| LaAlO3 | 10×10×0.5 mmt 15×15×0.5 mmt |
10×10を4分割 15×15を9分割 |
| LSAT | 10×10×0.5 mmt 15×15×0.5 mmt |
10×10を4分割 15×15を9分割 |
| YSZ | 10×10×0.5 mmt 15×15×0.5 mmt |
10×10を4分割 15×15を9分割 |
| MgAl2O4 | 10×10×0.5 mmt 15×15×0.5 mmt |
10×10を4分割 15×15を9分割 |
| Al2O3 | 10×10×0.5 mmt 15×15×0.5 mmt |
10×10を4分割 15×15を9分割 |
※お客様のご要望により特殊分割も承りますのでお問い合わせください。
